| Этап |
Проверяемый элемент |
Техническое требование |
Метод проверки |
Стандарт приемки |
Ответственная сторона |
Примечания |
| 1. Подготовка материала & Предварительная обработка |
1.1 Сертификация заготовки формы (полость/сердцевина) |
Материал: нерж. сталь S136/STAVAX; химический состав соответствует стандарту ASTM; для высокотемпературных линз COP, используется мартенситная сталь (18Ni-300) |
Проверка сертификата материала + спектральный анализ |
Сертификат соответствует номеру партии; отклонение химического состава ≤±0,05% от стандартного значения |
Команда контроля качества материалов |
Требуется вакуумное дегазирование марганцевой стали для устранения внутренних пор |
|
1.2 Формовка и отжиг для снятия напряжений (Этап черновой механической обработки) |
Направление зерна при ковке соответствует контуру полости; Отжиг для снятия напряжений при 600–650°C в течение 4–6 часов, Скорость охлаждения ≤50°C/ч |
Металлографический контроль + Испытание на твердость |
Однородность зерна ≥градуса 2; Твердость поверхности после отжига: 30–36 HRC |
Команда термообработки |
Избегать быстрого охлаждения во избежание новых напряжений |
|
1.3 Вакуумное закаливание & Отпуск (Окончательная термообработка) |
Вакуумное закаливание при 1020–1050°C, 3× отпуск при 500–520°C; Целевая твердость: 55–58 HRC (S136) / 50–55 HRC (Марганцевая сталь) |
Твердомер Роквелла (3 точки на компонент) + Ультразвуковая дефектоскопия |
Отклонение твердости ≤±1 HRC; Отсутствие внутренних трещин или включений (Размер дефекта ≤0,01 мм) |
Команда термообработки |
Время отпуска увеличено на 1 час для больших сердечников формы, чтобы обеспечить однородность твердости |
| 2. Точная механическая обработка |
2.1 Плоскостность плиты формы и перпендикулярность (полуфинишная обработка) |
Плоскостность ≤0,002 мм/100 мм; Перпендикулярность между поверхностью плиты формы и отверстиями направляющих штифтов ≤0,01 мм |
Точная шлифовка поверхности + лазерный интерферометр |
Измерение по всей площади, максимальное отклонение ≤0,0015 мм |
Команда ЧПУ обработки |
Шлифовка с одной стороны, чтобы избежать ошибок повторного зажима |
|
2.2 Обработка отверстий под установочные штифты (Электроэрозионная резка проволокой (EDM)) |
Допуск диаметра отверстия: ±0,001 мм; Концентричность между парными отверстиями ≤0,002 мм |
Координатно-измерительная машина (CMM) (координатно-измерительная машина, точность ±0,001 мм) |
100% проверка всех 8 установочных отверстий, нет элементов вне допуска |
Команда EDM |
Обработка завершена за один зажим для обеспечения точности расположения |
|
2.3 Полуфинишная обработка полостей/сердечников (Шлифовальный станок с шаблоном Moore) |
Припуск на обработку: 0.03мм для поверхности полости; Концентричность отверстия сердечника ≤0,001 мм |
Координатно-измерительная машина (CMM) + Оптический сравнитель |
Отклонение концентричности ≤0,0008 мм; равномерность допуска (вариация ≤0,005 мм) |
Команда точного шлифования |
Бег шпинделя установки шлифовки ≤0,0005 мм во время обработки |
|
2.4 Ультраточная алмазная обработка (не-сферическая поверхность) |
Глубина резания: 2–4 мкм (Слой никель-фосфорного покрытия); Цель шероховатости поверхности: Ra ≤0,01 мкм; Ошибка профиля не-сферической поверхности ≤0,5 мкм |
Оптический профилометр + Монитор износа алмазного инструмента |
Отклонение профиля ≤0,3 мкм; Ra ≤0,008 мкм; износ инструмента ≤0,001 мм за 10 компоненты |
Команда ультраточной обработки |
Обрабатывается в классе 1000 чистой комнаты для избежания царапин от пыли |
| 3. Обработка поверхности |
3.1 Зеркальная полировка (Поверхность полости/ядра) |
Последовательность полировки: 6мкм→3 мкм→1 мкм→0,25 мкм алмазная паста; Целевой класс: SPI A-1 (Ra ≤0,005 мкм) |
Атомно-силовой микроскоп (АФМ) + Визуальный осмотр (10× увеличительное стекло) |
Нет царапин, ямок или апельсиновой корки; Ra ≤0,004 мкм; плоскость поверхности ≤0,001 мм |
Полировочная команда |
Финальная полировка с использованием коллоидного кремнезёма для улучшения глянца поверхности |
|
3.2 DLC/TiN-покрытие (Поверхность сердечника) |
Толщина покрытия: 2–5 мкм; Прочность на адгезию ≥50 Н (тест на снятие); коэффициент трения ≤0,15 |
Измеритель толщины покрытия + тестер адгезии при снятии |
Изменение толщины ≤±0,5 мкм; Отсутствие отслаивания и пузыряния покрытия |
Команда поверхностной обработки |
Покрытие нанесено после финальной полировки для предотвращения повреждений |
|
3.3 Никель-фосфорное покрытие (микроструктурированные вставки) |
Толщина покрытия: 2–4 мкм; Однородность ≤±0,2 мкм; Поверхностная твёрдость: 50–55 HRC |
Толщина вихрового тока + Микро-твёрдость |
Однородность соответствует требованиям; Нет пустот на микросхемах |
Команда по покрытию |
Предварительная обработка включает обезжиривание и активацию для обеспечения сцепления |
| 4. Сборка формы |
4.1 Точное расположение штифтов |
Интерференционная посадка: диаметр штифта на 0,001–0,003 мм больше отверстия; форма нагрета до 70°C для пресс-фитинга |
динамометрический ключ + Координатно-измерительная машина (CMM) (послесборочная инспекция) |
нет ослабления штифтов; концентричность формы после сборки ≤0,003 мм |
сборочная команда |
использование термостойкой смазки во время прессовки, чтобы избежать заклинивания штифтов |
|
4.2 корректировка посадки сердечника |
зазор основного крепления (малый конец): 0.002–0,003 мм (стационарная форма); 0.003–0,005 мм (движущаяся форма); вспомогательный зазор (большой конец): 0.008–0,015 мм |
Датчик-датчик + Координатно-измерительная машина (CMM) (измерение коаксиальности) |
Зазор в пределах радиуса; коаксиальность сердечника и полости ≤0,002 мм |
сборочная команда |
Тестовая установка с фиктивным сердечником перед официальной сборкой |
|
4.3 Тест на целостность охлаждающей цепи |
Тест давления при 1,5× рабочего давления (1.5МПа); время удержания 30 мин |
Манометр + Детектор утечки пузырьков |
Нет падения давления (≤0,01 МПа/30 мин); нет утечек воды в соединениях |
Гидравлическая тестовая команда |
Каналы конформного охлаждения должны быть проверены промышленным КТ на засорение |
|
4.4 Калибровка системы горячего коллектора (для больших линз) |
Вариация температуры сопла ≤±3°C; Время реакции температуры ≤10с |
Регистратор температуры (3 термопары на сопло) |
Стабильность температуры соответствует требованиям; Без засорения сопла |
Команда горячего коллектора |
Предварительный разогрев в течение 30 мин перед калибровкой для достижения теплового равновесия |
| 5. Пробное формование & Проверка работоспособности |
5.1 Пробный материал смолы (оптический сорт) |
Материал: PMMA CR-39/PC LEXAN 141R/COP; чистота ≥99,9%; без частиц загрязнителей (≥0,1мм) |
Сертификат материала + Тест счетчиком частиц |
Количество примесей ≤5 частиц/кг; Пропускание смолы ≥92% |
Команда по инжектированию |
Смола высушена 4–6ч при 80–100°C перед формованием |
|
5.2 Стабильность температуры формы во время пробного формования |
Вариация температуры формы ≤±3°C; Расход охлаждающей воды: 5–8 л/мин на канал |
Мониторинг термопар в реальном времени (4 точки вокруг полости) |
Колебания температуры ≤±2°C; стабильная скорость потока (вариация ≤±0.5л/мин) |
Команда по контролю процессов |
Использовать водяной чиллер с постоянной температурой для точного контроля |
|
5.3 Измерение размеров формованных линз |
коцентрация ≤0.003мм; вариация толщины ≤0.005мм; ошибка несферического профиля ≤0.5мкм |
Оптическая КММ + тестер центрирования линз |
Все размеры в пределах допуска; отсутствие астигматизма, вызванного эксцентриситетом |
Команда по контролю качества |
Размер выборки: 20 линзы на партию, 0 допуск для выхода за пределы нормы |
|
5.4 Тест оптических характеристик линз |
Пропускание света ≥90%; без следов течения/подгорания (визуальный осмотр под увеличением 20×); размер дефектов поверхности ≤0.01мм |
Спектрофотометр + оптический микроскоп |
Пропускание ≥91%; отсутствие видимых дефектов; количество царапин на поверхности ≤0 на линзу |
Команда оптической лаборатории |
Тестирование в темной комнате для исключения влияния внешнего света |
|
5.5 Тест прочности формы (ускоренный) |
10,000 циклы инъекции; износ поверхности полости ≤0,001 мм; адгезия покрытия остаётся ≥45 Н |
АФМ (пост-тестовый осмотр поверхности) + тест на адгезию |
износ в пределах нормы; без отслоений покрытия; качество линзы стабильное (уровень дефектов ≤0,5%) |
Команда по испытанию надёжности |
Техническое обслуживание (ультразвуковая очистка) после 5,000 циклы для удаления остатков |